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中国突破28nm光刻机？进步非常大但任重而道远，深度分析
中国这就突破了28nm光刻机了吗同志们你是不是也被这消息给刷屏了。前不久工业和信息化部发布了一个通知是一个推广目录其中在「集成电路生产装备」这一列中就有氟化氪光刻机和氟化氩光刻机赫然在列。其中这个氟化氩光刻机的分辨率达到65nm套刻精度8nm被认为是所谓的「28nm光刻机」。这个究竟是怎么回事我们来研究下。
Has China achieved a breakthrough in 28nm lithography machines? Significant progress but still a long way to go—an indepth analysis.
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