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FS-1 マルチスペクトル・エリプソメーター　測定原理

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メイワフォーシス株式会社 Meiwafosis

FS1は、サンプルの光学的特性を明らかにするために、エリプソメーター偏光解析法を用います。
エリプソメーターシステムでは、光状態発生装置PSGからサンプルに対して斜めに偏光と既知の偏光を放射し、サンプルからの反射光の偏光状態を偏光状態検出器PSDで検知し測定します。

posted by amadecz


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