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PFIB TOF SIMSによる遷移金属化合物中のリチウムマップと共存元素の同定

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広島県立総合技術研究所

2022/11/18の西部工業技術センター保有技術紹介セミナーにて発表した内容です。
XeプラズマFIBSEMThermo Fisher Scinetific製FEI Helios G4 PFIB CXeに搭載されたTOFSIMSTofwerk AG製を使用して共存元素としてクロムCrマンガンMn鉄FeコバルトCoニッケルNi等を含むハイエントロピー合金薄膜中のリチウムLiの2次元分布を解析した事例を報告します。

posted by avisbu6y


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