Consiste en emisión de rayos X fluorescentes característicos de un material que ha sido excitado al ser bombardeado con rayos X de alta energía o rayos gamma.

Este fenómeno es muy utilizado para análisis elemental y análisis químico, particularmente en la investigación de metales, vidrios, cerámicos y materiales de construcción, así como en la de geoquímica, ciencia forense y arqueología.